Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 6

1.
ИССЛЕДОВАНИЕ ПОГРЕШНОСТЕЙ НЕПРЯМОГО СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИН СЛОЁВ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ПУТЁМ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ

З.В. Семенов1,2, В.А. Лабусов1,2,3
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
zahar@vmk.ru
2ООО «ВМК-Оптоэлектроника», 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
labusov@vmk.ru
3Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
Ключевые слова: многослойные покрытия, тонкие плёнки, измерение толщины слоёв, компьютерное моделирование, способ непрямого контроля, multilayer coatings, thin films, layer thickness measurement, computer simulation, indirect inspection method
Страницы: 3-14
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ

Аннотация >>
Представлены результаты исследования погрешности способа непрямого контроля, основанного на измерении спектров отражения в широкой спектральной области от дополнительных контрольных подложек, путём математического моделирования. Для проведения моделирования разработано программное обеспечение Deposition Control Simulator, позволяющее оценить влияние на случайную и систематическую погрешности измерения толщины наносимого слоя параметров системы контроля: шума линейки фотодетекторов, рабочего спектрального диапазона спектрометра и погрешности его градуировки по длинам волн, дрейфа интенсивности источника излучения, а также погрешности показателя преломления наносимых материалов. Для численного решения прямой и обратной задач многослойных покрытий использовалась библиотека OptiReOpt. Приведены зависимости случайной и систематической погрешностей измерения толщины наносимого слоя от его толщины при различных значениях параметров системы контроля. Даны рекомендации по применению способа непрямого контроля в целях снижения погрешности измерения толщины наносимого слоя.

DOI: 10.15372/AUT20170601
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


2.
МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОТВЕСНЫХ УЧАСТКОВ КУСОЧНО-НЕПРЕРЫВНОГО ПРОФИЛЯ ПРИ ОДНОСТАДИЙНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ ДОЭ НАКЛОННЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ПУЧКАМИ

В.П. Кирьянов1, В.Г. Никитин2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, Россия, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
kiryanov@iae.nsk.su
2Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute, 2 Science Park East Avenue, Hong Kong Science Park, Shatin, Hong Kong
vnikitin@astri.org
Ключевые слова: дифракционная эффективность, технология записи, профили ДОЭ, контраст фоторезистов, обратные скаты дифракционных зон, наклонные пучки, diffraction efficiency, writing technology, diffractive optical element profiles, photoresist contrast, inverse slopes of diffraction zones, inclined beams
Страницы: 15-22
Подраздел: MODELING IN PHYSICAL AND TECHNICAL RESEARCH

Аннотация >>
Представлены результаты моделирования важнейшей составляющей одностадийной технологии записи киноформных линз в толстых слоях фоторезистов с повышенной дифракционной эффективностью, реализуемой за счёт формирования обратных скатов зон Френеля с крутизной до 90º с помощью наклонных лазерных пучков. Показано, что подобная методика записи объёмных структур в фоторезистах с малым контрастом (k = 3) позволяет существенно увеличить крутизну обратных скатов зон, а в фоторезистах со средним контрастом (k = 10) - формировать практически отвесные скаты.

DOI: 10.15372/AUT20170602
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


3.
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗЕЕМАНОВСКИХ СДВИГОВ СПЕКТРАЛЬНЫХ СТРУКТУР В НЕОДНОРОДНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ

В.А. Сорокин1,2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
Vlad_sorokin@ngs.ru
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
Ключевые слова: оптико-магнитные резонансы, эффект Зеемана, модуляционный метод производной, opto-magnetic resonances, Zeeman effect, modulation derivative method
Страницы: 23-32
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ

Аннотация >>
Рассмотрены закономерности изменения наблюдаемого сдвига спектральных структур, обусловленных эффектом Зеемана в пространственно неоднородном магнитном поле. Оказалось, что этот сдвиг может варьироваться при изменении ширины спектральных структур, их формы, методики и условий регистрации. Предложен способ учёта неоднородности магнитного поля для оптически тонких и толстых сред.

DOI: 10.15372/AUT20170603
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


4.
ТРЁХОСЕВОЙ МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА

В.И. Бусурин1, А.Т. Фам1, М.А. Жеглов2, В.М. Медведев1,2
1Московский авиационный институт, 125993, Москва, А-80, ГСП-3, Волоколамское шоссе, 4
vbusurin@mai.ru
2АО «Государственный научно-исследовательский институт приборостроения», 129226, Москва, просп. Мира, 125
mazheglov@mail.ru
Ключевые слова: трёхосевой МОЭМ-преобразователь, туннельный эффект, угловая скорость, минимальная детектируемая величина, шумы, динамический диапазон, three-axial MOEM transducer, tunnel effect, angular rate, minimum detectable value, noise, dynamic range
Страницы: 33-41
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ

Аннотация >>
Разработана модель трёхосевого микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенная на основе оптического туннельного эффекта. Определена функция преобразования и оценено влияние дестабилизирующих факторов на характеристики трёхосевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей. Рассчитан его динамический диапазон на основе оптического туннельного эффекта.

DOI: 10.15372/AUT20170604
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


5.
ОЦЕНИВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЮСТИРОВКИ СКАНИРУЮЩЕГО УСТРОЙСТВА С МНОГОРЯДНЫМ ФОТОПРИЁМНИКОМ

Г.И. Громилин1, В.П. Косых1,2, К.В. Козлов3, В.Н. Васильев4
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
gromilin@iae.nsk.su
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
kosych@iae.nsk.su
3АО «Научно-производственное объединение "Орион"», 111538, Москва, ул. Косинская, 9
kozlov.k.v@mail.ru
4АО «НИИ оптико-электронных приборов», 188540, г. Сосновый Бор Ленинградской обл., ул. Ленинградская, 29
t9213616128@yandex.ru
Ключевые слова: сканирующее устройство, матричный фотоприёмник, режим ВЗН, ориентация фотоприёмника, скорость сканирования, scanning device, focal plane array, time delay and integration, orientation of focal plane array, scanning speed
Страницы: 42-48
Подраздел: АНАЛИЗ И СИНТЕЗ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ

Аннотация >>
Сканирующие приборы на основе многорядных фотоприёмников, обеспечивающие повышенное разрешение, предъявляют значительно более жёсткие требования к юстировке, чем приборы с однорядными приёмниками. Предложен новый способ измерения и оценивания скорости сканирования и угла ориентации многорядного фотоприёмника относительно направления сканирования - параметров, наиболее существенно влияющих на качество формируемого дискретного изображения. Способ основан на анализе изображения простого тест-объекта - оптической щели. Рассмотрен алгоритм оценивания этих параметров, обеспечивающий высокую точность оценок при достаточно слабых требованиях к качеству изображения тест-объекта. Точность оценок рассчитана аналитически и подтверждена посредством имитационного моделирования.

DOI: 10.15372/AUT20170605
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


6.
КЛАССИФИКАЦИЯ ОБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ОГИБАЮЩИХ СЕЙСМИЧЕСКИХ СИГНАЛОВ

Ю.В. Морозов, А.А. Спектор
Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
sibfrost24@mail.ru
Ключевые слова: классификация объектов, пассивная сейсмическая локация, спектральные признаки, метод максимального правдоподобия, object classification, passive seismic location, spectral features, maximum likelihood method
Страницы: 49-56
Подраздел: АНАЛИЗ И СИНТЕЗ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ

Аннотация >>
Предложен метод классификации движущихся объектов, производящих сейсмическое воздействие на поверхность грунта, основанный на статистическом анализе огибающих принятых сигналов. В качестве признаков классификации используются значения компонент амплитудного спектра огибающих, получаемых на основе преобразований Гильберта и Фурье. Для ансамбля объектов четырёх классов (человек, группа людей, крупное животное, автомобиль) приводятся примеры, иллюстрирующие статистические свойства спектров и работу сейсмического классификатора. Показано, что вычислительные процедуры по обработке сейсмических сигналов достаточно просты и это позволяет их использовать в системах реального времени при умеренных требованиях к ресурсам вычислительных средств.

DOI: 10.15372/AUT20170606
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


7.
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ БИЛАТЕРАЛЬНОГО ФИЛЬТРА В ЗАДАЧАХ ВЫЧИСЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ПОТОКА

В.В. Титков1, С.В. Панин1,2, П.С. Любутин1, В.О. Чемезов1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, 634055, г. Томск, просп. Академический, 2/4
titkov.vladimir@mail.com
2Томский политехнический университет, 634050, г. Томск, просп. Ленина, 30
svp@ispms.tsc.ru
Ключевые слова: оптический поток, билатеральный фильтр, трёхмерный рекурсивный поиск, вектор смещения, алгоритм Лукаса - Канаде, мера подобия, optical flow, bilateral filter, three-dimensional recursive search, displacement vector, Lucas -Kanade algorithm, measure of similarity
Страницы: 57-66
Подраздел: АНАЛИЗ И СИНТЕЗ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ

Аннотация >>
Предложено использование весовых коэффициентов билатерального фильтра для расчёта меры подобия участков изображений в алгоритмах вычисления оптического потока. Исследована эффективность применения данной меры подобия на примере алгоритма трёхмерного рекурсивного поиска. Для вычисления оптического потока с субпиксельной точностью с помощью алгоритма Лукаса - Канаде использованы весовые коэффициенты. На примере обработки различных типов изображений показана возможность снижения ошибки определения оптического потока с помощью предложенных подходов. Представлен и исследован способ выбора параметров весовых функций билатерального фильтра.

DOI: 10.15372/AUT20170607
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


8.
ЧАСТОТНЫЙ АНАЛИЗ РЕКУРРЕНТНЫХ ВАРИАЦИОННЫХ P-СПЛАЙНОВ

Е.А. Кочегурова, А.И. Кочегуров, Н.Е. Рожкова
Томский политехнический университет, 634050, г. Томск, просп. Ленина, 30
kocheg@mail.ru
Ключевые слова: рекуррентный алгоритм, сплайн-фильтр, штрафной сплайн, вариационный сплайн, системная функция, аппаратная функция, recurrent algorithm, spline filter, free spline, variational spline, system function, hardware function
Страницы: 67-76
Подраздел: АНАЛИЗ И СИНТЕЗ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ

Аннотация >>
Получены частотные характеристики процедуры сплайн-сглаживания информации, поступающей в режиме реального времени. Рекуррентный сплайн исследован с позиции теории линейных динамических систем. Рассмотрены вопросы оценки качества и устойчивости рекурсивного сплайн-фильтра. Выявленные при частотном анализе закономерности сплайн-преобразования подтверждены показателями качества сглаживания во временнóй области.

DOI: 10.15372/AUT20170608
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


9.
СИСТЕМА ОДНОВРЕМЕННОЙ ЛОКАЛИЗАЦИИ И ПОСТРОЕНИЯ КАРТЫ НА ОСНОВЕ ПОДХОДА CoreSLAM

Д.А. Барамия1,2, М.С. Дьяков2, С.А. Кузиковский2,3, М.М. Лаврентьев1,3
1Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
bard@sl.iae.nsk.su
2ООО «СофтЛаб-НСК», 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
dkmike@gmail.com
3Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
stas@sl.iae.nsk.su
Ключевые слова: одновременная локализация и построение карты, SLAM, замыкание циклов, фильтр частиц, предсказание позиции, итеративный алгоритм ближайших точек, ICP, simultaneous localization and mapping, loop closure, particle filter, position prediction, iterative closest point algorithm
Страницы: 77-82
Подраздел: ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Предложен новый метод замыкания циклов, основанный на хранении локальных карт препятствий, для сокращения накопленной ошибки локализации. Преимущество нового метода в сравнении с ранее предложенным заключается в уменьшении расхода оперативной памяти. Представлены результаты тестирования разработанной системы и сравнения с аналогами.

DOI: 10.15372/AUT20170609
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


10.
КВАЗИОПТИМАЛЬНЫЙ МЕТОД РЕШЕНИЯ ЗАДАЧИ ТРИАНГУЛЯЦИИ В УСЛОВИЯХ АПРИОРНОЙ НЕОПРЕДЕЛЁННОСТИ

Ю.Г. Булычев, Е.Н. Чепель
АО «Всероссийский научно-исследовательский институт "Градиент''», 344000, г. Ростов-на-Дону, просп. Соколова, 96
РrofВulychev@yandex.ru
Ключевые слова: источник излучения, триангуляционная измерительная система, местоположение, пеленги, кластер, селекция, принципы «размножения» и «кластеризации» оценок, radiation source, triangulation measuring system, location, bearings, cluster, selection, principles of "breeding" and "clustering" of estimates
Страницы: 83-91
Подраздел: ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Предложен новый метод оценивания местоположения излучающей цели для случая существенной априорной неопределённости относительно условий функционирования триангуляционной измерительной системы. Приведены результаты сравнительного анализа и практические рекомендации по применению метода.

DOI: 10.15372/AUT20170610
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


11.
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЁНОК НИОБАТА БАРИЯ-СТРОНЦИЯ В ОБЛАСТИ 0,2-1,3 ТГц

В.Д. Анцыгин1, А.А. Мамрашев1,2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
antsigin@iae.nsk.su
2Институт сильноточной электроники СО РАН, 634055, г. Томск, просп. Академический, 2/3
mamrashev@iae.nsk.su
Ключевые слова: терагерцовая спектроскопия, ниобат бария-стронция, ITO, сегнетоэлектрические плёнки, пироэлектрические приёмники, terahertz spectroscopy, strontium-barium niobate, ITO, ferroelectric films, pyroelectric detectors
Страницы: 92-96
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ

Аннотация >>
Знание оптических и диэлектрических свойств плёнок сегнетоэлектриков, в частности ниобата бария-стронция, в терагерцовой области спектра необходимо для разработки и создания на их основе активных элементов и структур для регистрации и управления терагерцовым излучением. Исследования свойств плёнок ниобата бария-стронция состава x = 0,5, выращенных на ориентированных сапфировых подложках с нанесённым на них электродом, выполнены методом импульсной широкополосной терагерцовой спектроскопии в области 0,2-1,3 ТГц. Установлено, что плёнки ниобата бария-стронция могут быть использованы для создания устройств управления и регистрации терагерцового излучения.

DOI: 10.15372/AUT20170611
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


12.
ДИНАМИКА РОСТА СОБСТВЕННОГО ОКИСЛА CdxHg1 - xTe

Г.Ю. Сидоров1,2, В.А. Швец1, Ю.Г. Сидоров1, В.С. Варавин1
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
george007@ya.ru
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
Ключевые слова: естественный окисел, КРТ, эллипсометрия, natural oxide, MCT, ellipsometry
Страницы: 97-105
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ

Аннотация >>
Методами лазерной и спектральной эллипсометрии исследован рост собственного окисла Cd x Hg1 - xTe (КРТ). Установлено, что окисление КРТ парами перекиси водорода с самого начала приводит к образованию непоглощающей плёнки оксидов, тогда как при окислении атмосферным кислородом на первых стадиях на поверхности формируются поглощающие слои. После достижения толщины окисла 1-2 нм скорость окисления резко замедляется. Прогревы образцов КРТ при T = 200 ºС, которые перед этим длительно (годами) экспонировались на воздухе при комнатной температуре, приводят к уменьшению оптической толщины окисла.

DOI: 10.15372/AUT20170612
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


13.
СВЕРХТОНКИЕ СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ НА ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ AIIIBV/Ge

Н.А. Паханов1, О.П. Пчеляков1, В.М. Владимиров2
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
pakhanov@isp.nsc.ru
2ООО «Научно-производственная фирма "Электрон''», 660036, г. Красноярск, Академгородок, стр. 50
vlad@ksc.krasn.ru
Ключевые слова: сверхтонкие солнечные элементы на основе AB/Ge, гетероструктуры AB/Ge, солнечные элементы на основе AB/GaInAs, superthin solar cells on the basis of AB/Ge, AB heterostructures, solar cells on the basis of AB/GaInAs
Страницы: 106-110
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ

Аннотация >>
Проведён сравнительный анализ перспектив создания супертонких, лёгких и высокоэффективных солнечных элементов на гетероструктурах AIIIBV/InGaAs и AIIIBV/Ge. Обсуждаются технологические проблемы и перспективы каждого варианта. Предложен метод утонения гетероструктур AIIIBV/Ge с помощью эффективного временного технологического носителя, который позволяет проводить процесс практически без риска разрушения гетероструктуры, утонять Ge-каскад до нескольких десятков (даже единиц) микрон и существенно увеличить процент выхода годных приборов, а также удобно и надёжно переносить утонённые солнечные элементы на произвольную лёгкую и гибкую подложку. Такая технология открывает возможность создания высокоэффективных тонких и лёгких солнечных элементов для космических аппаратов на массово производимых в настоящее время гетероструктурах AIIIBV/Ge.

DOI: 10.15372/AUT20170613
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину


14.
ПОЛЯРИЗАЦИОННАЯ ПИРОМЕТРИЯ СЛОИСТЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР В УСЛОВИЯХ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

И.А. Азаров1,2, В.А. Швец1,2, С.А. Дулин1, Н.Н. Михайлов1,2, С.А. Дворецкий1,3, Д.Г. Икусов1, И.Н. Ужаков1, С.В. Рыхлицкий1
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
azarov_ivan@mail.ru
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
shvets@isp.nsc.ru
3Томский государственный университет, 634050, г. Томск, просп. Ленина, 36
dvor@isp.nsc.ru
Ключевые слова: тепловое излучение, поляризационная пирометрия, температура роста, лучистый теплообмен, молекулярно-лучевая эпитаксия КРТ, thermal radiation, polarization pyrometry, growth temperature, radiant heat transfer, molecular beam epitaxy of MCT
Страницы: 111-120
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ

Аннотация >>
Рассмотрены принципиальные вопросы применения метода пирометрии для контроля температуры при низкотемпературных процессах в технологии производства полупроводниковых структур на примере выращивания слоёв кадмий-ртуть-теллур на подложке GaAs методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Предложены оптическая и теплофизическая модели, описывающие процессы лучистого теплообмена в вакуумной камере. На основе этих моделей показано, что при интерпретации измеренных данных пирометра необходимо учитывать излучение от нагревателя, а также отражённый от стенок камеры сигнал, которые сравнимы по величине с измеряемым излучением от образца. Найдены способы выделения полезного сигнала. Проведены эксперименты по измерению температуры пирометром, установленным на технологической камере роста КРТ, показавшие хорошее согласование с теоретическими расчётами.

DOI: 10.15372/AUT20170614
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину