Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.226.126.38
    [SESS_TIME] => 1711653098
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 90d772396b914cbdd2f28f1e5e78af0c
    [UNIQUE_KEY] => 3d2998aa6dd63b6933d555a3c9ea636d
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 6

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОТВЕСНЫХ УЧАСТКОВ КУСОЧНО-НЕПРЕРЫВНОГО ПРОФИЛЯ ПРИ ОДНОСТАДИЙНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ ДОЭ НАКЛОННЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ПУЧКАМИ

В.П. Кирьянов1, В.Г. Никитин2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, Россия, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
kiryanov@iae.nsk.su
2Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute, 2 Science Park East Avenue, Hong Kong Science Park, Shatin, Hong Kong
vnikitin@astri.org
Ключевые слова: дифракционная эффективность, технология записи, профили ДОЭ, контраст фоторезистов, обратные скаты дифракционных зон, наклонные пучки, diffraction efficiency, writing technology, diffractive optical element profiles, photoresist contrast, inverse slopes of diffraction zones, inclined beams
Страницы: 15-22
Подраздел: MODELING IN PHYSICAL AND TECHNICAL RESEARCH

Аннотация

Представлены результаты моделирования важнейшей составляющей одностадийной технологии записи киноформных линз в толстых слоях фоторезистов с повышенной дифракционной эффективностью, реализуемой за счёт формирования обратных скатов зон Френеля с крутизной до 90º с помощью наклонных лазерных пучков. Показано, что подобная методика записи объёмных структур в фоторезистах с малым контрастом (k = 3) позволяет существенно увеличить крутизну обратных скатов зон, а в фоторезистах со средним контрастом (k = 10) - формировать практически отвесные скаты.

DOI: 10.15372/AUT20170602