Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 2

1.
РАЗВИТИЕ НАНОТЕХНОЛОГИЙ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ РАЗРАБОТКИ УСТРОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

Ю. Г. Сидоров, А. И. Торопов, В. В. Шашкин, В. Н. Овсюк, В. А. Гайслер, А. К. Гутаковский, А. В. Латышев, В. А. Ткаченко, З. Д. Квон, А. В. Двуреченский, О. П. Пчеляков, В. Я. Принц, В. П. Попов, А. Л. Асеев
(Новосибирск)
Страницы: 4–19
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация >>
Представлен краткий обзор результатов развития технологии молекулярно-лучевой эпитаксии и технологии создания структур кремний–на–изоляторе применительно к разработке нового поколения фотоприемных устройств ИК- диапазона, лазеров с вертикальным резонатором, транзисторов и фотоприемников на квантовых точках, квантовых электронных интерферометров и нанотранзисторов. Показаны результаты использования метода самосборки напряженных эпитаксиальных гетероструктур и зондовой нанолитографии для получения нанообъектов. Приведены данные о структуре нанообъектов, полученные методами просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и сканирующей туннельной микроскопии атомного разрешения. Проведен анализ возможностей нанотехнологий для решения основных задач современной полупроводниковой электроники.


2.
НАНОМЕТРИЯ: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ

В. В. Календин
(Москва)
Страницы: 20–36
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация >>
Рассмотрены состояние и перспективы развития метрологического обеспечения линейных измерений в нанометровом диапазоне. Сформулированы проблемы техники нанометровых измерений и определены важнейшие задачи их решения. На основе анализа принципиальных возможностей различных методов и средств нанометрии, а также технологий изготовления и конструкций мер малой длины рекомендованы наиболее оптимальные с точки зрения разрешающей способности, стабильности и погрешности измерений. Представлены результаты экспериментальных исследований эталонного измерительного комплекса на основе сканирующего зондового микроскопа и лазерного интерферометра, обеспечивающего трехмерные измерения линейных размеров с атомным разрешением в реальном масштабе времени.


3.
ИНСТРУМЕНТЫ НАНОТЕХНОЛОГИИ: СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ

В. А. Быков, В. Н. Рябоконь
(Москва)
Страницы: 37–45
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация >>
Представлены текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены некоторые характеристики сканирующих зондовых микроскопов, зондовых лабораторий и зондовых фабрик. Приведены примеры отечественных разработок зондовых приборов.


4.
ЛАЗЕРНЫЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ ДЛЯ СИНТЕЗА МИКРОРЕЛЬЕФА ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ТРЕХМЕРНЫХ ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ

В. М. Ведерников, А. Г. Верхогляд, В. М. Гуренко, Л. Б. Касторский, А. В. Кирьянов, В. П. Кирьянов, С. А. Кокарев, А. Р. Саметов
(Новосибирск)
Страницы: 46–58
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация >>
Рассмотрены особенности построения основных систем управления в лазерном генераторе изображений, предназначенном для синтеза микрорельефа дифракционных оптических элементов на трехмерных поверхностях. Особое внимание уделено проблемам создания системы автофокусировки. Для данных применений эта система выполнена самонастраивающейся с функциями автоматического поиска, захвата и удержания поверхности записи на расстоянии наилучшей фокусировки. Приведены результаты записи дифракционных оптических элементов на различных типах поверхностей, в том числе на плоских поверхностях, покрытых пленками хрома или фоторезиста, и на сферической поверхности, покрытой пленкой хрома.


5.
К ВОПРОСУ О МЕХАНИЗМЕ ЗАПИСИ ИЗОБРАЖЕНИЙ В ПЛЕНКАХ ХРОМА

В. П. Кирьянов, В. Г. Никитин
(Новосибирск)
Страницы: 59–68
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация >>
Рассмотрена модель механизма записи скрытых изображений в пленках хрома, основанная на свойствах явления взрывной кристаллизации. Показано, что применение этой модели записи изображений, осуществляемой с помощью лазерных генераторов изображений типа CLWS-300/C, позволяет описать различия в форме переднего и заднего края следа взаимодействия, объяснить изменения положения переднего края следа относительно угловой координаты, соответствующей моменту подачи сигнала включения. Утверждается, что доминирующим процессом при записи скрытых изображений в пленках хрома является их рекристаллизация.


6.
ОБЗОР ПРИНЦИПОВ ПОСТРОЕНИЯ ЛАЗЕРНЫХ ВРЕМЯПРОЛЕТНЫХ ДАЛЬНОМЕРОВ

Б. Журне
(Кашан, Франция)
Страницы: 69–81
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Дан обзор принципов построения современных лазерных дальномеров: от простых, когда дальность определяется временем пролета короткого лазерного импульса, отраженного от цели, дальномеров непрерывного действия, в которых расстояние определяется набегом фазы сигнала, модулирующего лазерный пучок, и до сложных корреляционных устройств с цифровой псевдослучайной модуляцией, отличающихся высокой помехоустойчивостью. Приведены области применения каждого типа дальномеров и дан анализ их достоинств и недостатков.


7.
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТВЭЛ

В. А. Белоглазова, О. И. Битюцкий, А. А. Гущина, Ю. К. Карлов, Б. Е. Кривенков, П. И. Лавренюк, В. И. Ладыгин, В. И. Несин, А. И. Пастушенко, А. Н. Петров, Ю. В. Пименов, В. В. Рожков, И. Г. Чапаев, В. М. Чернышев, Ю. В. Чугуй, В. П. Юношев, С. П. Юношев
(Новосибирск – Москва)
Страницы: 82–92
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Представлено устройство размерного контроля тепловыделяющих элементов (ТВЭЛ) атомных реакторов ВВЭР-1000 и ВВЭР-440, созданное на основе теневого метода измерения. Дано описание технических программных средств и метрологического обеспечения устройства. Обсуждаются результаты производственных испытаний и опытной эксплуатации. Показано, что такое устройство позволяет поддерживать на должном уровне технологический процесс производства ТВЭЛ и что это способствует повышению безопасности ядерных реакторов и улучшению их эксплуатационных характеристик.


8.
ИССЛЕДОВАНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА МЕТОДОМ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МУАРОВЫХ ПОЛОС

Р. Родригес-Вера, А. Мартинес, Дж. А. Райяс, Х. Дж. Пуга
(Гуанахуато, Мексика)
Страницы: 93–104
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Произведена оценка вклада перемещений, нормальных к поверхности объекта, в картину изменения фазы интерференционных полос, получаемых методами муара и спекл-интерферометрии при определении деформаций в плоскости объекта. Анализ выполнен на основе исследования неопределенности (uncer-tainty – неопределенность, зарубежный стандарт погрешности) вектора чувствительности, связанного с положением точки на поверхности объекта. Выполнен численный анализ изменения вектора чувствительности как функции небольших смещений ортогонально поверхности объекта и формы его поверхности. В результате показано, что пренебрежение этими факторами может привести к серьезным ошибкам измерения и что при использовании неколлимированного освещения в интерферометрии муаровых полос с решеткой можно до начала измерения оценить его возможную ошибку. Предложена обобщенная функция коррекции картины изменения фазы для любой интерферометрической схемы, чувствительной к деформациям в плоскости, при использовании освещения сферической волной.


9.
ЛАЗЕРНЫЕ ТРИАНГУЛЯЦИОННЫЕ ДАТЧИКИ ПОЛОЖЕНИЯ В ПРОМЫШЛЕННЫХ СИСТЕМАХ КОНТРОЛЯ И ДИАГНОСТИКИ

А. Н. Байбаков, В. И. Ладыгин, А. И. Пастушенко, С. В. Плотников, Н. Т. Тукубаев, С. П. Юношев
(Новосибирск)
Страницы: 105–113
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Приведены результаты исследований зависимости погрешности триангуляционных измерений от алгоритмов обработки сигналов и ширины зондирующего пучка. Показано, что использование медианного алгоритма обработки и зондирующего пучка шириной 100 мкм позволяет снизить минимальную погрешность с 10 до единиц микрометров. Рассмотрены схемотехнические решения, обеспечивающие повышение быстродействия датчиков в диапазоне 1000 – 100000 измер./с. Это позволило решать сложные комплексные задачи и расширило область применения лазерных датчиков положения. Приведены примеры использования лазерных датчиков положения, разработанных в Конструкторско-технологическом институте научного приборостроения СО РАН, в контрольно-измерительных системах, применяемых в металлургической и автомобильной промышленности, энергетической отрасли и на железнодорожном транспорте.


10.
ОПРЕДЕЛЕНИЕ СМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА ПО ФУРЬЕ-ИНТЕРФЕРОГРАММЕ

С. Н. Малов
(Иркутск)
Страницы: 114–120
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Рассмотрен случай, когда в схеме голографии Фурье исследуемый образец претерпевает комбинированное смещение с заранее известным (тестовым) сдвигом, что позволяет легко определить величину и направление (знак) неизвестного смещения.


11.
ИССЛЕДОВАНИЕ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ЧАСТИЦ МЕТОДОМ ВЕЙВЛЕТ-АНАЛИЗА ДОПЛЕРОВСКОГО СИГНАЛА

Т. В. Кудряшов, В. А. Гречихин
(Москва)
Страницы: 121–127
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация >>
Рассмотрен метод вейвлет-анализа сигналов лазерного доплеровского анемометра (ЛДА), используемого для измерения скорости светорассеивающих частиц в заданной локальной области аэро- или гидродинамического потока. Проведен анализ погрешностей оценки скорости, связанных с параметрами измерительной установки, выбранными условиями наблюдения и характеристиками алгоритма обработки выходного сигнала схемы ЛДА. Выработаны рекомендации по проведению измерений.