Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 2

НАНОМЕТРИЯ: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ

В. В. Календин
(Москва)
Страницы: 20–36
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация

Рассмотрены состояние и перспективы развития метрологического обеспечения линейных измерений в нанометровом диапазоне. Сформулированы проблемы техники нанометровых измерений и определены важнейшие задачи их решения. На основе анализа принципиальных возможностей различных методов и средств нанометрии, а также технологий изготовления и конструкций мер малой длины рекомендованы наиболее оптимальные с точки зрения разрешающей способности, стабильности и погрешности измерений. Представлены результаты экспериментальных исследований эталонного измерительного комплекса на основе сканирующего зондового микроскопа и лазерного интерферометра, обеспечивающего трехмерные измерения линейных размеров с атомным разрешением в реальном масштабе времени.