МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ РЕШЁТКИ: ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ
Э.Г. Косцов, И.В. Князев
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1 kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: МЭМС, дифракционные решётки, электростатика, сегнетоэлектрик
Страницы: 71-88 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Рассматриваются конструкции и особенности функционирования микрооптоэлектромеханических систем, микрозеркальных устройств и дифракционных решёток, управляемых электрическим полем. Описываются элементы микроэлектромеханических дифракционных решёток, а также ряд прикладных задач, которые решаются с их помощью. Предлагается новый элемент микроэлектромеханической дифракционной решётки, основанный на использовании в межэлектродном зазоре диэлектрических материалов с высоким значением диэлектрической проницаемости. Такой элемент по сравнению с известными аналогами обладает более низким управляющим напряжением, более высокой тактовой частотой и технологичностью. Проводится сравнение характеристик нового элемента и известных аналогов.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее