Главная – Журналы – Автометрия 2013 номер 3

Рассматриваются конструкции и особенности функционирования микрооптоэлектромеханических систем, микрозеркальных устройств и дифракционных решёток, управляемых электрическим полем. Описываются элементы микроэлектромеханических дифракционных решёток, а также ряд прикладных задач, которые решаются с их помощью. Предлагается новый элемент микроэлектромеханической дифракционной решётки, основанный на использовании в межэлектродном зазоре диэлектрических материалов с высоким значением диэлектрической проницаемости. Такой элемент по сравнению с известными аналогами обладает более низким управляющим напряжением, более высокой тактовой частотой и технологичностью. Проводится сравнение характеристик нового элемента и известных аналогов.