ФОРМИРОВАНИЕ КАПЕЛЬ ЗОЛОТА И ИХ ДВИЖЕНИЕ ПО ПОВЕРХНОСТИ Si(111): МОДЕЛИРОВАНИЕ МОНТЕ-КАРЛО
"С.В. Кудрич1, А.А. Спирина2, Н.Л. Шварц1,2"
"1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия snegkyd@mail.ru 2Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия spirina.anna.alex@gmail.com"
Ключевые слова: золото, Si(100), Si(111), моделирование, метод Монте-Карло
Страницы: 71-78
Аннотация
Представленная работа посвящена моделированию Монте-Карло движения капель расплава Au-Si по вицинальной поверхности Si(111) при осаждении золота на подложку из кремния. Рассмотрено поведение капель на поверхностях Si с ориентациями (100) и (111). Выяснено, что направленное движение капель Au-Si на вицинальной поверхности Si(111) обусловлено асимметрией латеральной границы раздела капля - подложка. Причиной асимметрии латеральной границы раздела на вицинальной поверхности Si(111) являются ступени. Движение капли происходит за счёт растворения кремниевой подложки в стремлении достичь равновесной концентрации расплава Au-Si в объёме капли. Проанализирована кинетика движения капель расплава Au-Si по поверхности кремния.
DOI: 10.15372/AUT20220609 |