Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.238.99.243
    [SESS_TIME] => 1620978978
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 25a1c094a64eb36e73cff6e506b22b78
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => 13063d13fbc78bf4fbe0cce3a489a5b7
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2011 год, номер 5

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МОРФОЛОГИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ В СВЕРХЗВУКОВОМ ПОТОКЕ УГЛЕВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ

С. Н. Свиташева1, Г. А. Поздняков2, Ю. В. Щеглов1, Д. В. Настаушев1
1 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН
2 Учреждение Российской академии наук Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича Сибирского отделения РАН
Svitasheva@thermo.isp.nsc.ru, georg@itam.nsc.ru, nast@thermo.isp.nsc.ru, Sheglov@thermo.isp.nsc.ru
Ключевые слова: спектральная эллипсометрия, атомно-силовая микроскопия, плёнки алмазоподобного углерода, МГД-ускоритель плазмы
Страницы: 59-66

Аннотация

Показана возможность применения нового метода синтеза плёнок в сверхзвуковом потоке плазмы углеводородов, генерируемом дисковым магнитогидродинамическим ускорителем. Для характеризации плёнок алмазоподобного углерода использовались два метода: неразрушающий метод спектральной эллипсометрии и метод атомно-силовой микроскопии.