Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.188.66.13
    [SESS_TIME] => 1713506303
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 657de4b7aad3f8f9526c3c18978c4c88
    [UNIQUE_KEY] => 9f733ce65c73de7145b3197896334c7e
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 5

Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света

Е.В. Сысоев, И.В. Голубев, Ю.В. Чугуй, В.А. Шахматов
(Новосибирск)
Страницы: 4–13
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Рассмотрен оптико-электронный метод измерения профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света. Разработана промышленная система измерения дефектов поверхности. Приведены блок-схема и технические характеристики системы. Предложен метод оценки глубины профиля поверхности с использованием полизональной интерференции частично когерентного света. Приведены результаты экспериментальной проверки метода.