ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО ПОТОКА НА ОСНОВЕ ТОНКОЙ ПЛЁНКИ YBCO
Д.А. Колосовский1, С.А. Пономарев2, Ю.А. Живодков2, В.А. Голяшов2, С.Р. Егиян3, С.В. Старинский1
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
danil-ak@yandex.ru
2Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
ponomarev@isp.nsc.ru
3Сколковский институт науки и технологий, Москва, Россия
samvel.yegiyan@skoltech.ru
Ключевые слова: датчик теплового потока, YBCO, импульсное лазерное осаждение, поперечный термоэлектрический эффект
Страницы: 33-42
Аннотация
Представлены результаты разработки и экспериментального исследования макета датчика теплового потока на основе тонкоплёночного слоя YBaCuO, напылённого методом импульсного лазерного осаждения на монокристаллические подложки Al2O3 (1̅102). Предложен технологически простой подход к формированию ориентированных плёнок YBCO без применения дорогостоящих miscut-подложек, обеспечивающий реализацию поперечного термоэлектрического эффекта. Проведены комплексные исследования морфологии, фазового состава и термоэлектрических характеристик плёнок, полученных при различных температурах осаждения. Установлено, что максимальная чувствительность макета датчика теплового потока достигается при температуре 700 °C и составляет 177 мкВ ∙ см2/Вт, что сопоставимо с характеристиками эталонных водоохлаждаемых сенсоров.
DOI: 10.15372/AUT20250604 |
