ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ЭКСПОНИРОВАННЫХ ПОЗИТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ ОТ УСЛОВИЙ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
П.Е. Коношенко1,2, С.Л. Микерин1, В.П. Корольков1
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
konoshenko.polina@mail.ru
2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: показатель преломления, фоторезист, термообработка, экспонирование
Страницы: 108-121
Аннотация
Знание показателя преломления фоторезиста полезно для ряда прикладных задач контроля технологических процессов микроэлектроники, а также для экспериментального исследования характеристик прототипируемых дифракционных и микрооптических структур с глубоким микрорельефом. Поскольку этот оптический параметр зависит от условий обработки фоторезиста, то спектральные зависимости, предоставляемые иногда производителями, могут быть недостаточны. Приведены результаты исследований по определению зависимости показателя преломления позитивных фоторезистов S1818 G2 (MICROPOSIT) и ФП-3535 (ФРАСТ-М) в диапазоне длин волн 500-1600 нм от условий режима предварительной термообработки длительностью в интервале 15-30 мин и экспонирования актиничным излучением. Представлен режим обработки исследуемых фоторезистов для получения показателя преломления в пределах 1,61-1,64 в видимом и 1,59-1,61 в инфракрасном диапазонах спектра излучения. Обнаружена аномальная зона дисперсии в диапазоне длин волн 570-640 нм в плёнках окрашенного фоторезиста S1818 G2, часто используемого в экспериментальном исследовании характеристик при прототипировании дифракционных оптических элементов. Зависимости показателя преломления российского фоторезиста ФП-3535 получены впервые.
DOI: 10.15372/AUT20220613 |
