ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ МОЗАИЧНЫХ ФОТОПРИЁМНИКОВ СВЕРХВЫСОКОЙ РАЗМЕРНОСТИ (КОНЦЕПТУАЛЬНЫЙ ОБЗОР)
А.И. Козлов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
aikozlov13@mail.ru
Ключевые слова: мозаичная технология, мозаичные фотоприёмники (МФП) сверхвысокой размерности, технологические "слепые зоны", максимальная эффективность преобразования изображений, многослойные структуры с квантовыми ямами (МСКЯ), параметры инфракрасных (ИК) МФП
Страницы: 111-118
Аннотация
Фундаментальные исследования основ создания мозаичных фотоприёмников (МФП) сверхвысокой размерности позволили оптимизировать прототип мозаичной технологии с уменьшением «слепых зон». При этом обеспечиваются минимальные области повреждения на краях кристаллов при разделении пластин с достижением минимальных зазоров между кристаллами смежных субмодулей до величины не более 2-3 мкм для разных определяющих материалов. Исследованы параметры инфракрасных МФП в зависимости от длины волны максимума спектральной характеристики фоточувствительности многослойных структур с квантовыми ямами, от шага фоточувствительных элементов и формата субмодулей. В ряде предложенных технологических вариантов прототипов слепые зоны МФП оптически перекрываются и обеспечивается предельная, 100 %-ная эффективность преобразования изображений. Мозаичная технология является одним из фундаментальных принципов достижения сверхвысокой размерности МФП с максимальной эффективностью преобразования изображений.
DOI: 10.15372/AUT20210514 |
