МАТРИЧНЫЕ БОЛОМЕТРИЧЕСКИЕ ДЕТЕКТОРЫ С ВЫСОКИМ БЫСТРОДЕЙСТВИЕМ
Р.З. Хафизов, В.В. Старцев, В.Ю. Москвичев
Акционерное общество "Оптико-механическое конструкторское бюро "АСТРОН"", Лыткарино Московской обл., Россия
imagelab@mail.ru
Ключевые слова: инфракрасное излучение, микроболометр, фотоприёмное устройство, оптико-электронные системы, микроэлектромеханические системы, отношение сигнал/шум, эквивалентная шуму разность температур
Страницы: 77-87
Аннотация
Рассмотрены теоретические соотношения, оптимизирующие конструкцию микроболометрического элемента матричного детектора и обеспечивающие улучшение его характеристик быстродействия. Сформулированы требования к параметрам элементов и к используемым для их изготовления материалам, которые предоставляют принципиальную возможность минимизации постоянной времени тепловой релаксации болометрического сенсора в целях увеличения кадровой частоты матриц. Представлены результаты их моделирования, позволяющие провести оптимизацию конструкции и её реализацию с использованием современных технологических процессов формирования высокоэффективных микроболометрических элементов с учётом требований конкретных применений.
DOI: 10.15372/AUT20210509 |
