ДЕТЕКТОРЫ ОДИНОЧНЫХ ФОТОНОВ НА ОСНОВЕ ЛАВИННЫХ ФОТОДИОДОВ InP/InGaAs/InP
В.В. Преображенский, И.Б. Чистохин, М.А. Путято, Н.А. Валишева, Е.А. Емельянов, М.О. Петрушков, А.С. Плешков, И.Г. Неизвестный, И.И. Рябцев
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
pvv@isp.nsc.ru
Ключевые слова: детектор одиночных фотонов, лавинный фотодиод, гейгеровский режим, гетероструктура, InP/InGaAs/InP, ВАХ, темновой ток, квантовая эффективность счёта, частота темновых импульсов, коэффициент послепульсаций, молекулярно-лучевая эпитаксия, избирательное легирование
Страницы: 48-57
Аннотация
Обсуждаются вопросы разработки и изготовления детектора одиночных фотонов на базе однофотонных лавинных фотодиодов (ОЛФД) InP/InGaAs/InP, работающих в гейгеровском режиме на телекоммуникационной длине волны 1550 нм. Приведено описание конструкции ОЛФД, способа получения гетероструктуры InP/InGaAs/InP методом молекулярно-лучевой эпитаксии, изготовления чипа ОЛФД методами планарной технологии, особенностей избирательного легирования цинком p-областей в слое InP, разработанных электронных схем измерения основных параметров ОЛФД. Представлены предварительные результаты измерений параметров, изготовленных ОЛФД.
DOI: 10.15372/AUT20210506 |
