РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА
Е.А. Ильинчик†, И.С. Меренков
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
merenkov@niic.nsc.ru
Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, электронное строение, тонкие пленки, PECVD, боразин, наностенки, hexagonal boron nitride, X-ray photoelectron spectroscopy, electronic structure, thin films, borazine, nanowalls
Страницы: 709-716
Аннотация
Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа. Использование гелия приводит к избытку на поверхности пленки атомов бора, появлению связей B-B и понижению вклада связей B-N в гексагональном окружении. Показано, что получение пленок h-BN, близких к стехиометрическому составу, в плазмохимических процессах с использованием боразина возможно при добавлении аммиака. Также на основе литературных данных проведен расчет энергий связи в B1 s -спектрах для различных окружений атома бора в гексагональной решетке.
DOI: 10.15372/JSC20160406 |
