АНАЛИЗ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ЁМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ВЫСОКОЙ ЧАСТОТЕ
В.Н. Вьюхин
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1 vvn@iae.nsk.su"
Ключевые слова: измерение ёмкости полупроводниковых структур, ошибки измерения, тестовый сигнал, измерительная цепь, ёмкостный делитель, интегратор, measuring the capacity of semiconductor structures, measurement error, test signal, measurement circuit, capacity divider, integrator
Страницы: 120-125 Подраздел: СИСТЕМЫ АВТОМАТИЗАЦИИ В НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЯХ И ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Аннотация
Выполнены теоретические и экспериментальные исследования погрешности измерения ёмкости полупроводниковых структур на высокой частоте измерительной цепью на основе интегратора. Полученные соотношения для расчёта этой погрешности позволяют для конкретных условий правильно выбрать параметры измерительной цепи.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее