ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОКОМПОЗИТОВ ОТЖИГОМ ПЛЁНОК SiOx В КИСЛОРОДСОДЕРЖАЩЕЙ СРЕДЕ
Н.В. Сопинский1, А.В. Руссу2
1Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, 03028, Украина, г. Киев, просп. Науки, 45
sopinsky@isp.kiev.ua
2Национальный университет «Киево-Могилянская академия», 04655, Украина, г. Киев, ул. Григория Сковороды, 2
roussu.aleksander@gmail.com
Ключевые слова: кремниевые наночастицы, эллипсометрия, оптическая модель, разделение фаз, окисление, silicon nanoparticles, ellipsometry, optical model, phase separation, oxidation
Страницы: 121-127
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ
Аннотация
Методом многоугловой эллипсометрии изучены фазово-структурные превращения, протекающие при термическом отжиге в воздушной среде вакуумно осаждённых плёнок SiOx. Анализ экспериментальных результатов с помощью набора оптических моделей, учитывающих неоднородность и анизотропность, позволил получить сведения о влиянии конкурирующих процессов фазового разложения и окисления плёнок SiOx на макро- и микроструктуру формирующихся систем в интервале температур отжига 650-1000 °С.
|
