Представлены результаты исследований, направленных на повышение прочности гибридных фотоприёмных устройств (ФПУ) на основе гетероэпитаксиальных слоёв кадмий—ртуть—теллур. Показано, что отжиг кремниевых мультиплексоров при температуре 157 ºС в потоке водорода в вакууме изменяет форму индиевых столбов на полусферическую, выравнивает их механические свойства по пластине. Контролируемое восстановление естественной кривизны пластин кремниевых мультиплексоров и массивов фоточувствительных элементов в гибридных фотоприёмных устройствах при температуре 120 ºС увеличивает срок их эксплуатации. Предложена последовательность технологических операций по гибридизации ФПУ, обеспечивающих повышение величины усилия на отрыв фоточувствительных элементов от кремниевых мультиплексоров не менее 75 % в сравнении с ФПУ со сплавленными индиевыми столбами
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее