КИНЕТИКА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЙ РОСТА ПЛЕНОК ZnTe НА Si(013)
Д. Н. Придачин, Ю. Г. Сидоров, М. В. Якушев, В. А. Швец
(Новосибирск)
Страницы: 104-114 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Методами эллипсометрии, дифракции быстрых электронов и электронной оже-спектроскопии исследовались начальные стадии формирования эпитаксиальных пленок ZnTe на подложках Si(013): As. Показано, что кинетика роста пленки ZnTe описывается моделью зарождения и роста центров кристаллизации. Температурная зависимость скорости зарождения J хорошо аппроксимируется прямой линией в координатах ln(J), 1/(T)2T, что указывает на лимитирующую роль образования зародышей критического размера. Рассчитано значение увеличения поверхностной энергии при зарождении ZnTe, равное 40 эрг/см2. Оценочный расчет значения поверхностной энергии чистого ZnTe(001) дает 490 эрг/см2. Разница между двумя значениями энергии может быть обусловлена адсорбцией компонентов осаждаемого материала, снижающей избыточную энергию процесса увеличения поверхности.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее