Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света
Е.В. Сысоев, И.В. Голубев, Ю.В. Чугуй, В.А. Шахматов
(Новосибирск)
Страницы: 4–13 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Рассмотрен оптико-электронный метод измерения профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света. Разработана промышленная система измерения дефектов поверхности. Приведены блок-схема и технические характеристики системы. Предложен метод оценки глубины профиля поверхности с использованием полизональной интерференции частично когерентного света. Приведены результаты экспериментальной проверки метода.
|