Главная – Журналы – Автометрия 2003 номер 6

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 2880
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [PASSWORD_CHECK_WEAK] => N
                    [PASSWORD_CHECK_POLICY] => N
                    [PASSWORD_CHANGE_DAYS] => 0
                    [PASSWORD_UNIQUE_COUNT] => 0
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [BLOCK_LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [BLOCK_TIME] => 0
                )

        )

    [SESS_IP] => 216.73.216.161
    [SESS_TIME] => 1748853086
    [IS_EXPIRED] => 
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [SESS_SHOW_INCLUDE_TIME_EXEC] => 
    [fixed_session_id] => 1ada27da8c12d1bdc93dd233ebbf53c9
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 6

ПОГРЕШНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ СТРУКТУР ЛАЗЕРНЫМ ТЕРМОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ ЗАПИСИ А. Г. Полещук (Новосибирск) Страницы: 39–45 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ Аннотация Проведена оценка искажений геометрических размеров простейших дифракционных структур, записываемых термохимическим методом в пленке хрома (толщиной 80–100 нм) движущимся сфокусированным лазерным пучком. Экспериментально показано, что мощность записывающего лазерного пучка должна поддерживаться с точностью 2–3 % для формирования структур с погрешностями геометрических размеров менее 0,1 мкм. Скачать pdf-версию статьи