Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана.
Т. П. Смирнова, Л. В. Яковкина, А. М. Бадалян, В. Н. Кичай, В. В. Каичев*, В. И. Бухтияров*
Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН,
проспект Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
*Институт катализа имени Г. К. Борескова Сибирского отделения РАН,
Омское отделение, ул. Нефтезаводская, 54, Омск 644040 (Россия)
Аннотация
Рассмотрен экологически безопасный процесс плазмохимического осаждения тонких пленок карбонитрида кремния из нового соединения – диметил(2,2-диметилгидразино)силана (ДМДМГС), который является продуктом переработки ракетного топлива – несимметричного диметилгидразина (гептила). Изучены зависимости химического состава пленок от условий их синтеза. Продемонстрирована возможность управления характеристиками получаемых слоев изменением параметров процесса. Предложены механизмы плазмохимических и гетерофазных превращений ДМДМГС с образованием пленок карбонитрида кремния. Показано, что пленки представляют собой субстехиометричный SiNх, состоящий из неполного тетраэдра SiN, в котором часть азотных мест занята углеродом. При стабильных прочих параметрах процесса соотношение связей Si—N/Si—C в материале определяется температурой синтеза.
|
