ПОВЫШЕНИЕ ДОСТОВЕРНОСТИ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ НЕСКОЛЬКИХ ДЛИН ВОЛН
И.А. Выхристюк, Р.В. Куликов, Е.В. Сысоев
"Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41
uic@ngs.ru"
Ключевые слова: рельеф поверхности, интерференционные измерения, частично когерентная интерферометрия, многоволновые измерения, surface topography, interference measurements, partially coherent interferometry, multiwave measurements
Страницы: 64-72
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Предложены методы повышения достоверности интерференционных измерений нанорельефа поверхностей, содержащих резкие перепады высоты, которые приводят к неоднозначности определения фазы интерференционного сигнала. Рассмотрено влияние общей погрешности измерения на диапазон многоволновых измерений. Приведены результаты натурных экспериментов, демонстрирующие увеличение диапазона измерений нанорельефа предложенными методами в сравнении с одноволновыми измерениями.
DOI: 10.15372/AUT20180508
|
