СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ ПРОЗРАЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ
Н.И. Файнер1, А.Г. Плеханов1, А.Н. Голубенко†2, Ю.М. Румянцев1, Е.А. Максимовский1, В.Р. Шаяпов1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
nadezhda@niic.nsc.ru
2Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, плазмохимическое осаждение, silicon oxycarbonitride, nanocomposite films, 1,1,3,3-tetramethyldisilazane, plasma enhanced chemical vapor deposition
Страницы: 125-132
Аннотация
На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si-C-N-O-H в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSi(CH3)2)2NH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (O2+ xN2) разработан метод получения нанокомпозитных пленок SiCxNyOz:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373-973 K. Методами ИК и энергодисперсионной спектроскопии изучены структура химических связей и элементный состав полученных пленок оксикарбонитрида кремния. Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии.
DOI: 10.15372/JSC20170118 |
