Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.233.242.216
    [SESS_TIME] => 1730789010
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 57f1abeccb2a55fca5d6c73ca5fff7bf
    [UNIQUE_KEY] => 9a70be2e316d275f68be892e102d808b
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2023 год, номер 6

СТРУКТУРА И ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ ТОНКИХ ПЛЁНОК СПЛАВА Si1-xGex, СФОРМИРОВАННЫХ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ГЕРМАНИЯ В ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ

Д.Л. Горошко1, И.М. Гаврилин2, А.А. Дронов2, О.А. Горошко1, Л.С. Волкова3
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН, Владивосток, Россия
goroshko@iacp.dvo.ru
2Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Москва, Россия
gavrilin.ilya@gmail.com
3Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
lidiya.volkova.96@mail.ru
Ключевые слова: сплав SiGe, теплопроводность, электрохимическое осаждение германия, пористый кремний
Страницы: 80-88

Аннотация

Сплошные и пористые плёнки сплавов Si1-xGex с содержанием германия около 40 % и толщиной 3-4 мкм, сформированные на монокристаллическом кремнии методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом при температуре 950 °C, исследованы методами спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС), оптической спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. На основе спектров, снятых в стоксовой и антистоксовой областях частот с использованием статистики Больцмана и закона теплопроводности Фурье, определены коэффициенты теплопроводности плёнок, которые составляют 7-9 и 3-6 Вт / (м ⋅ К) для сплошной и пористой плёнок соответственно. Низкая теплопроводность пористой плёнки объясняется дополнительным фононным рассеянием на развитой поверхности пор. Перспективность применения таких плёнок в термоэлектрических преобразователях обеспечивается простотой и масштабируемостью способа изготовления сплава, а также его низкой теплопроводностью.

DOI: 10.15372/AUT20230609
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину