ЧИСЛЕННОЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ФОТОТЕРМИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА В ТОНКИХ ПЛЁНКАХ ОКСИДА МОЛИБДЕНА ПРИ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ
С.Д. Полетаев
ИСОИ РАН - филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Самара, Россия
sergpolet@gmail.com
Ключевые слова: моделирование COMSOL, тонкие плёнки, лазерная абляция, нелинейный фототермический эффект, разрешающая способность
Страницы: 43-51
Аннотация
Проведено исследование фототермического эффекта при лазерной абляции плёнки оксида молибдена толщиной 45 нм. Представлена гипотеза о связи коэффициента теплопроводности диэлектрической плёнки с предельной величиной фототермического эффекта. Показано, что при коэффициенте теплопроводности более 5 Вт/(м · К) резко уменьшается скорость изменения температуры в начале нагрева плёнки, что вместе с особенностью распределения температуры может оказывать разнонаправленное влияние на ширину формируемого трека. Экспериментально установлено, что под действием непрерывного лазерного излучения в плёнке оксида молибдена толщиной 45 нм возможно формирование треков шириной, почти в 2 раза меньшей эффективного диаметра лазерного пучка.
DOI: 10.15372/AUT20230306
EDN: DDRMBQ
|
