Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.235.20.185
    [SESS_TIME] => 1716542953
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => fafeed6f032011618dd8ed7430143ced
    [UNIQUE_KEY] => 74a701aa6e6a583d6e642d7dce495b3c
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2021 год, номер 1

СКРАЙБИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПРИБОРНЫХ ПЛАСТИН ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ В ВОДНОЙ СРЕДЕ

А.Р. Новоселов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск, Россия
novoselov@oesd.ru
Ключевые слова: СБИС, лазерное скрайбирование, зона повреждения
Страницы: 112-121

Аннотация

Исследован результат воздействия скрайбирования лазерным излучением в водной среде на кремниевые сверхбольшие интегральные схемы, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения. Установлены ширина повреждения материала вокруг скрайбовой канавки, которая составила около 47 мкм, а также возникновение гидроудара при вскипании воды во время скрайбирования, оказывающего давление на материал не менее 1,5 x 10-6 кг/мкм2.

DOI: 10.15372/AUT20210112
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину