ОПРЕДЕЛЕНИЕ И КОРРЕКЦИЯ ОШИБОК В СИГНАЛАХ КВАДРАТУРНЫХ ДЕТЕКТОРОВ ЛАЗЕРНЫХ ИНТЕРФЕРОМЕТРОВ
Ф.А. ЖУРАВЕЛЬ, А.И. СКУРЛАТОВ, А.М. ЩЕРБАЧЕНКО
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
Ipm2@iae.nsk.su
Ключевые слова: гетеродинный лазерный интерферометр, акустооптический модулятор лазерного излучения, квадратурная дискретизация, подвижный элемент MEMS, heterodyne laser interferometer, acousto-optic modulator of laser radiation, quadrature sampling, moving element MEMS
Страницы: 45-51
Аннотация
Погрешности лазерных интерферометров, использующих квадратурные детекторы, зависят не только от самих интерферометров, но и от электронных систем обработки квадратурных сигналов. Существует три источника ошибок сигналов квадратурных детекторов: неравенство амплитуд квадратурных сигналов, сдвиг по фазе этих сигналов (не равен 90◦) и смещение нуля в каждом из сигналов, которые влияют на погрешность измерения перемещений. Рассматривается простой способ определения и коррекции этих ошибок, использующий экспериментальные данные о сигналах, полученных с помощью аналого-цифровых преобразователей. Предложенный способ применим к любому интерферометру с синусоидальными квадратурными выходами.
DOI: 10.15372/AUT20190306 |
