ОПЕРАТИВНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ КОМПОНЕНТ ФОТОПРИЁМНИКОВ FLIP-CHIP ИК-ДИАПАЗОНА
"А.Р. Новоселов1, П.А. Алдохин1, А.Е. Маточкин2, П.П. Добровольский1, К.П. Шатунов1"
"1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
novoselov@oesd.ru
2Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
matochkin@iae.nsk.su"
Ключевые слова: фотоприёмное устройство, автоколлимационный метод, интерференционный метод, photodetector, autocollimation method, interference method
Страницы: 70-80
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Исследована возможность применения автоколлимационного и интерференционного методов для неразрушающего оперативного контроля формы поверхностей фотоприёмников, чувствительных в инфракрасном диапазоне спектра и изготовленных путём гибридизации компонент (технология flip-chip). Методы позволяют контролировать формы поверхностей и стрелки прогиба. Этими методами были исследованы: формы поверхностей фрагментов кремниевых приборных пластин и матриц фоточувствительных элементов на подложках GaAs, формы поверхностей фотоприёмников на разных стадиях разрушения и в процессе термоциклирования.
DOI: 10.15372/AUT20190208 |
