Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2019 год, номер 2

ОПЕРАТИВНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ КОМПОНЕНТ ФОТОПРИЁМНИКОВ FLIP-CHIP ИК-ДИАПАЗОНА

А.Р. Новоселов1, П.А. Алдохин1, А.Е. Маточкин2, П.П. Добровольский1, К.П. Шатунов1
1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
novoselov@oesd.ru
2Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
matochkin@iae.nsk.su
Ключевые слова: фотоприёмное устройство, автоколлимационный метод, интерференционный метод, photodetector, autocollimation method, interference method
Страницы: 70-80
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Аннотация

Исследована возможность применения автоколлимационного и интерференционного методов для неразрушающего оперативного контроля формы поверхностей фотоприёмников, чувствительных в инфракрасном диапазоне спектра и изготовленных путём гибридизации компонент (технология flip-chip). Методы позволяют контролировать формы поверхностей и стрелки прогиба. Этими методами были исследованы: формы поверхностей фрагментов кремниевых приборных пластин и матриц фоточувствительных элементов на подложках GaAs, формы поверхностей фотоприёмников на разных стадиях разрушения и в процессе термоциклирования.

DOI: 10.15372/AUT20190208
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину