Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.238.225.8
    [SESS_TIME] => 1660216472
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => b19b25ce7a72f3f531e74ff0b88090e5
    [UNIQUE_KEY] => f8edcfaebfe5000adc5734e74c677586
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD

А.И. Сафонов1, В.С. Суляева2, А.Л. Богословцева1, Н.И. Тимошенко1
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
safonov@itp.nsc.ru
2Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
veronica@niic.nsc.ru
Ключевые слова: фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор, fluoropolymer, thin films, HWCVD method, gas dynamic flow regime, catalyst
Страницы: 87-92

Аннотация

Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.

DOI: 10.15372/PMTF20180510