Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.144.233.150
    [SESS_TIME] => 1713855981
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 5d3344872fbde6deff8a55cc1f6d3616
    [UNIQUE_KEY] => 188189fa993020f52d7a2156a0c4575c
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа

А.К. Ребров1, М.В. Исупов1, А.Ю. Литвинцев1, В.Ф. Буров2
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
rebrov@itp.nsc.ru
2ООО "ЗиО-КОТЭС", Новосибирск, 630049, Россия
burov.46@mail.ru
Ключевые слова: синтез алмазов, микроволновая плазма, резонансная камера, сопло, смесь водорода и метана, высокоскоростной поток, вакуум, diamond synthesis, microwave plasma, resonance chamber, nozzle, hydrogen--methane mixture, high-velocity flow, vacuum
Страницы: 5-12

Аннотация

Впервые реализован новый способ осаждения алмазных пленок с использованием сверхзвуковых потоков газов, активированных сверхвысокочастотным разрядом. Принцип работы предложенного газоразрядного устройства аналогичен принципу работы микроволнового электротермического ракетного движителя. В качестве плазмообразующего газа используется смесь углеводородов и водорода. Показано, что предлагаемый способ позволяет использовать плазмообразующий газ при давлениях, существенно превышающих верхний предел рабочих давлений современных газоразрядных устройств осаждения пленок в плазме сверхвысокочастотного разряда (приблизительно 40000 Па).

DOI: 10.15372/PMTF20180501
Скачать pdf-версию статьи