Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 44.201.99.133
    [SESS_TIME] => 1711716476
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 4246042cba6b72c072c4837c04d3f741
    [UNIQUE_KEY] => 7b8b38a58aed48f0511e2b410235df4c
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2015 год, номер 1

ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ

Н.И. Файнер, В.И. Косяков
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева 3
nadezhda@niic.nsc.ru
Ключевые слова: карбонитрид кремния, тонкие пленки, гексаметилдисилазан, плазмохимическое осаждение, РФА с использованием СИ, кристаллические фазы семейства О±-Si C N , silicon carbonitride, thin films, hexamethyldisilazane, plasma chemical deposition, XRD-SR, crystalline phases of the О±-Si C N family
Страницы: 171-182
Подраздел: ОБЗОРЫ

Аннотация

Высокотемпературные пленки карбонитрида кремния синтезированы плазмохимическим разложением газовых смесей 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана (ГМДС) (синоним по ИЮПАК бис(триметилсилил)амин) с гелием или аммиаком в области температур 673-1273 K. показано, что пленки карбонитрида кремния, полученные в высокотемпературных процессах плазмохимического разложения кремнийорганических соединений, являются нанокомпозитными, в аморфную матрицу которых внедрены кристаллы, принадлежащие к фазам семейства α-Si 3- nC n N 4 и примесного графита. Для уточнения ранее полученных с использованием синхротронного излучения данных РФА проведено их сопоставление с литературными результатами моделирования структуры этих фаз. Показано, что в пленках присутствуют нанокристаллы α-Si 3N 4, α-Si 2CN 4, α-SiC 2N 4 и α-C 3N 4. Повышение концентрации аммиака в исходной газовой смеси приводит к уменьшению твердости пленок от 24 до 16 ГПа из-за увеличения содержания в пленках количества нанокристаллов α-Si 3N 4 и α-Si 2CN 4, обладающих меньшей твердостью по сравнению с α-C 3N 4 и α-SiC 2N 4.