Главная – Журналы – Прикладная механика и техническая физика 1976 номер 4

Экспериментально исследовано рассеяние атомов Аг с энергией Е₀ = 0,15–1,8 эВ от поверхности (111) монокристалла германия при наличии и отсутствии адсорбированного слоя. Этот диапазон энергий был достигнут ускорением Ar в бинарной смеси Ar–Не или Ar–Н₂, истекающей из соплового источника молекулярного пучка. Для выделения из смеси компонента Аг использовалась регистрация возбужденных атомов Ar*, образующихся при бомбардировке молекулярного пучка поперечным пучком электронов. Применение время-пролетной техники позволило получать наряду с диаграммами рассеяния угловые распределения средней скорости. Исследования проведены при температуре мишени Т_м = 20 и 600 °С, что соответствует наличию и отсутствию адсорбированного слоя. Установлено, что при Т_м = 20 °С рассеяние не всегда соответствует полностью диффузному: при Е₀ > 0,5 эВ появляется значительная по величине лепестковая компонента. При Т_м = 600 °С все диаграммы рассеяния имеют лепестковый характер с максимумом в направлении между зеркальным лучом и плоскостью мишени. Изменение Е₀ от 0,15 до 1,8 эВ увеличивает сдвиг максимума от зеркального луча, полуширина диаграммы при этом уменьшается. Характер угловых распределений скорости рассеянных атомов существенно зависит от Е₀. Величина потери энергии налетающих атомов при Т_м = 20 °С объясняется с помощью простой модели последовательного столкновения атома Аг с адсорбированной молекулой и чистой поверхностью.