Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.238.96.184
    [SESS_TIME] => 1621132340
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => e1a16bc30c56cc68070d598a16534a1d
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => 2b69d46c6e4ca92d4920ca411788fccf
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2013 год, номер 2

НОВЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ДЛЯ ГИГАГЕРЦОВЫХ ЧАСТОТ

Э.Г. Косцов1, С.И. Фадеев2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
kostsov@iae.nsk.su
2Институт математики им. С. Л. Соболева СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 4
Ключевые слова: СВЧ МЭМС, микрорезонатор, генератор частоты, ВЧ-фильтр, собственные колебания
Страницы: 115-122
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Аннотация

Рассматривается возможность создания микроэлектромеханических резонаторов микрометровых размеров с гигагерцовыми частотами. В конструкцию резонатора введена тонкая плёнка диэлектрика (сегнетоэлектрика) с высокими диэлектрической проницаемостью и электрической прочностью. Проведено описание особенностей функционирования устройства и его конструкции с использованием математической модели, позволившей найти точные соотношения между параметрами, характеризующими собственные колебания подвижного элемента, а также напряжение запуска.