Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.227.235.216
    [SESS_TIME] => 1632317667
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 2fe97f84d506e75d6d33394f717dcf1e
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => 070363ff13f2248cecd55ad89a046a29
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2011 год, номер 5

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРИСТЫХ СЛОЕВ

К. П. Могильников, О. И. Семенова
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
oisem@thermo.isp.nsc.ru
Ключевые слова: адсорбция, тонкие пористые пленки, эллипсометрия, модуль Юнга
Страницы: 926-931

Аннотация

Предложен новый эллипсометрический способ измерения адсорбции в тонких слоях непосредственно в потоке смеси паров летучих жидкостей с инертным газом при атмосферном давлении. Способ позволяет определять основные структурные параметры нано-
и микропористых материалов: средний размер пор, поверхность пор, распределение пор по размерам и полную пористость сорбентов. Описана методика определения модуля Юнга в наноразмерных пористых слоях с использованием спектроэллипсометра.