Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.236.13.53
    [SESS_TIME] => 1632193996
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 6b7da0c899307bbf53d64f2ff2650074
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => 5b245852633c4d40c43d6af437ad131d
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 4

ТРЁХМЕРНАЯ КООРДИНАТНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ МАШИНА С РАЗРЕШЕНИЕМ 0,1 нм

Герд Егер
Ilmenau University of Technology, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,
PO Box 100 565, 98684 Ilmenau, Germany,
gerd.jaeger@tu-ilmenau.de
Ключевые слова: машина NMM-1, свободная от ошибки Аббе конструкция, нанозонды
Страницы: 26-32

Аннотация

Описывается нанометрология на основе нанопозиционирующей машины со встроенными нанозондами. Представлен принцип работы высокоточной (в большом объёме) 3D нанопозиционирующей и наноизмерительной машины (NMM-1) с пространственным разрешением 0,1 нм и диапазоном позиционирования и измерений 25 × 25 × 5 мм. В неё интегрированы различные нанозонды, включая датчики фокуса и белого света, а также тактильные нанозонды. Измерение и управление с шестью степенями свободы обеспечиваются одно-, двух- и трёхлучевыми интерферометрами, встроенными в машину NMM-1. Представлены результаты измерений