МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ МИКРО- И НАНОИЗМЕРЕНИЙ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ ГЕРМАНИИ
Г. Босе, Л. Кёндерс, Ф. Гертиг, Э. Бур, Г. Вилкенинг
Ключевые слова: размерная (линейная и угловая) метрология, микрометрология, нанометрология, моделирование сигналов
Страницы: 19-25
Аннотация
Приведён обзор методов и приборов, разработанных и применяемых в Физико-техническом институте Германии для высокоточных размерных (линейных и угловых) измерений. Обсуждаются задачи, стоящие перед разработчиками в этой важной области метрологии.
|