Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.97.9.175
    [SESS_TIME] => 1733878809
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => ebda04666ed0986c6b69ec2229d583a2
    [UNIQUE_KEY] => 420844dadcd6133d1b1caf62d17b341e
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 2

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП-ПРОФИЛОМЕТР

Е. В. Сысоев, И. А. Выхристюк, Р. В. Куликов, А. К. Поташников, В. А. Разум, Л. М. Степнов
Учреждение Российской академии наук Конструкторско-технологический институт научного приборостроения Сибирского отделения РАН,
630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41,
evsml@mail.ru, uic@ngs.ru, rstalcker@ngs.ru, potash@tdisie.nsc.ru, rav@tdisie.nsc.ru, ste@tdisie.nsc.ru
Ключевые слова: оптический профилометр, сканирующий интерферометр частично когерентного света, нанорельеф, 3D-реконструкция, микрорельеф
Страницы: 119-128

Аннотация

Представлены структура и функциональные возможности цифрового оптического микроскопа-профилометра, работающего в двух режимах: микро- и наноизмерений. Принцип работы прибора основан на измерении фазовой функции волнового фронта света, рассеянного контролируемой поверхностью. Рассмотрены возможности программного обеспечения и технические характеристики микроскопа-профилометра.