Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 100.25.42.211
    [SESS_TIME] => 1664372082
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 50a34dfe56161dc4d1f78375fc93af6d
    [UNIQUE_KEY] => ae9e8543fa1ce3ea0ec52bae8e855499
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 2

МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ: ТЕХНОЛОГИЯ И УСТРОЙСТВО ПРЯМОЙ ЛАЗЕРНОЙ ЗАПИСИ ДИФРАКЦИОННЫХ СТРУКТУР

А. Г. Полещук1, А. А. Кутанов2, В. П. Бессмельцев1, В. П. Корольков1, Р. В. Шиманский1, А. И. Малышев1, А. Е. Маточкин1, Н. В. Голошевский1, К. В. Макаров2, В. П. Макаров2, И. А. Снимщиков2, Н. Сыдык уулу2
1 Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН,
630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1,
poleshchuk@iae.nsk.su
2 Институт физико-технических проблем и материаловедения Национальной академии наук Кыргызской республики,
700027, г. Бишкек, просп. Чуй, 265а,
askar@aknet
Ключевые слова: сканирующая интерференционная литография, прямая лазерная запись, дифракционные микроструктуры, плёнки хрома, плёнки кремния
Страницы: 86-96

Аннотация

Представлены результаты разработки и тестирования сканирующей системы интерференционной литографии, предназначенной для формирования дифракционных микроструктур, состоящих из микрорешёток размером 5-10 мкм с заданной ориентацией и периодом в диапазоне 0,6-1,5 мкм. Общее поле записи системы составляет 300 × 300 мм. Система использовалась для исследования прямой лазерной записи микрорешёток на плёнках хрома и аморфного кремния, нанесённых методом магнетронного распыления на поверхность стеклянных подложек. Разработанные установка и технологии прямой записи микрорешёток могут применяться в дальнейшем для формирования просветляющих субволновых покрытий оптических элементов, графических микроструктурированных марок для защиты продукции, а также для изготовления дифракционных аттенюаторов лазерного излучения.