Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 100.28.0.143
    [SESS_TIME] => 1721278601
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 5157f4b48ff2f7b48526842a50d6b9f1
    [UNIQUE_KEY] => 149166ad7db4260174256c22d9ef4198
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2009 год, номер 3

СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ МИКРО– И НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИКИ

Э. Г. Косцов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: микроэлектромеханика, МЕМS, электромеханическое преобразование энергии, микроэлектроника, микрооптика, оптоэлектромеханика, адаптивная оптика, генератор частоты, акселерометр, гироскоп, микроактюатор, наноэлектромеханика, ВЧ–коммутатор, ВЧ–фильтр, сенсоры
Страницы: 3-52

Аннотация

В современной микроэлектронике наиболее интенсивно развивающимся сектором являются микроэлектромеханические системы (MEMS — Micro-Electro-Mechanical Systems). Однако к настоящему времени большинство разработчиков электронной техники и пользователей устройств высоких технологий обладает недостаточной общей информацией о новом направлении микроэлектроники. В предлагаемой работе рассматривается современное состояние этого направления, широкие спектры его практических применений и перспективы дальнейшего развития, включая переход в нанометровый диапазон с созданием элементов наноэлектроники. Рассматриваются также особенности функционирования ряда конкретных MEMS-устройств, их характеристики, области и масштабы практических приложений.