Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.221.159.255
    [SESS_TIME] => 1610969362
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 06ca805c415491cf30a7e491da104d0e
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => fe50fa9d188f186c5af03c9893c0a8cf
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2008 год, номер 5

ЭФФЕКТИВНЫЙ ПАРАЛЛЕЛЬНЫЙ АЛГОРИТМ ЧИСЛЕННОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ В МОНОСИЛАНОВОЙ ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

В. А. Вшивков1, Г. Г. Лазарева2, А. В. Снытников3
1 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск, snytav@ssd.sscc.ru
2 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск
3 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск
Страницы: 112-122

Аннотация

Представлена численная модель процессов в моносилановой плазме тлеющего разряда, предназначенная для моделирования работы реактора плазменного осаждения. Рассмотрен один тип ионов. Ионная и электронная компоненты плазмы моделируются кинетическими уравнениями со столкновениями. Создан эффективный параллельный алгоритм для моделирования процессов в моносилановой плазме и приведены его основные характеристики. Результаты численного моделирования с помощью используемой численной модели адекватны данным, полученным в ходе физических экспериментов.