А. Г. Полещук
(Новосибирск)
Страницы: 39–45
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Проведена оценка искажений геометрических размеров простейших дифракционных структур, записываемых термохимическим методом в пленке хрома (толщиной 80–100 нм) движущимся сфокусированным лазерным пучком. Экспериментально показано, что мощность записывающего лазерного пучка должна поддерживаться с точностью 2–3 % для формирования структур с погрешностями геометрических размеров менее
0,1 мкм.