Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.239.208.72
    [SESS_TIME] => 1711704201
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => c67c77cc656f8e788b0e44a50279bd12
    [UNIQUE_KEY] => 404de5db89b495b47f181fd1587f9ab0
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 6

ПОГРЕШНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ СТРУКТУР ЛАЗЕРНЫМ ТЕРМОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ ЗАПИСИ

А. Г. Полещук
(Новосибирск)
Страницы: 39–45
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Проведена оценка искажений геометрических размеров простейших дифракционных структур, записываемых термохимическим методом в пленке хрома (толщиной 80–100 нм) движущимся сфокусированным лазерным пучком. Экспериментально показано, что мощность записывающего лазерного пучка должна поддерживаться с точностью 2–3 % для формирования структур с погрешностями геометрических размеров менее 0,1 мкм.