ПРОФИЛОМЕТР ДЛЯ ОПЕРАТИВНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ 3D-МИКРОСТРУКТУР ПО ИХ СПЕКТРАМ
А. Тагучи, Н. Ямакита, Ю. Такая, Т. Миёши, С. Такахаши
(Осака – Токио, Япония)
Страницы: 19–29 Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Аннотация
Рассмотрен оптический метод измерения профиля поверхности трехмерных микроструктур. Информацию о пространственном спектре профиля поверхности получают путем измерения интенсивности дифракции света, по которой посредством восстановления фазы реконструируют поверхность. Приведен пример восстановления случайной непериодической поверхности ступенчатой структуры с высотой каждой ступеньки, равной 70 нм. Представлен результат успешной реконструкции поверхности. Рассмотренный дифракционный метод целесообразно использовать для оперативных измерений.
|