ПРОФИЛОМЕТР ДЛЯ ОПЕРАТИВНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ 3D-МИКРОСТРУКТУР ПО ИХ СПЕКТРАМ
А. Тагучи, Н. Ямакита, Ю. Такая, Т. Миёши, С. Такахаши
(Осака – Токио, Япония)
Страницы: 19–29 Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Аннотация
Рассмотрен оптический метод измерения профиля поверхности трехмерных микроструктур. Информацию о пространственном спектре профиля поверхности получают путем измерения интенсивности дифракции света, по которой посредством восстановления фазы реконструируют поверхность. Приведен пример восстановления случайной непериодической поверхности ступенчатой структуры с высотой каждой ступеньки, равной 70 нм. Представлен результат успешной реконструкции поверхности. Рассмотренный дифракционный метод целесообразно использовать для оперативных измерений.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее