Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.238.132.225
    [SESS_TIME] => 1632637762
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 1951abec4dee30bcdd5a4a31ded050d6
    [SALE_USER_ID] => 0
    [UNIQUE_KEY] => 78017a068bfb460ca1ca8a8e1703ebdd
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2006 год, номер 6

Упругие нанооболочки на основе кремниевых пленок: формирование, свойства и практическое применение

В. Я. Принц, С. В. Голод
Институт физики полупроводников СО РАН, 630090 Новосибирск
prinz@isp.nsc.ru
Ключевые слова: упругие напряжения и деформация, тонкие пленки, кремний, нанотехнология
Страницы: 114-128

Аннотация

Представлен краткий обзор и приведены новые оригинальные результаты по контролируемому формированию и свойствам твердотельных монокристаллических микро- и нанооболочек различных форм: трубок и спиралей, вертикально расположенных колец и цилиндров, изогнутых и желобообразных консольных балок. Для формирования оболочек и сложных конструкций заданного размера и формы используется упругая энергия исходных напряженных пленок SiGe/Si нанометровых толщин, а также методы высокоселективного и направленного отсоединения пленок от кремниевых подложек. Экспериментально показано, что диаметры SiGe/Si-нанотрубок в несколько раз меньше значений, предсказываемых континуальной теорией упругости. Обсуждаются свойства оболочек из полупроводниковых и гибридных (металл — полупроводник и металл — диэлектрик — полупроводник) пленок, а также варианты их применения в микро- и наноэлектромеханике.