Термодинамическое моделирование процессов разделения газовых водород-хлороводородных смесей методом абсорбции хлорсиланами с целью возвращения водорода в технологический цикл при получении полупроводникового кремния
"В. А. Титов1, Л. И. Чернявский2, Л. А. Борисова3, Б. А. Шагаров4, С. А. Муравицкий5, В. Н. Ниткин6, В. А. Постников7"
"1 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 2 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 3 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 4 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 5 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 6 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 7 ОАО "СвердНИИХимМаш""
Страницы: 359-362
Аннотация
Рассмотрена задача разделения газовых водород-хлороводородных смесей с применением хлорсиланов в качестве сорбентов. Показана возможность очистки водорода от HCl до 0.1 мол. % и возвращения его в технологический цикл на этапе водородного восстановления трихлорсилана. Очищенный от примесей хлорсиланов хлороводород также может быть применяться в качестве реагента для получения трихлорсилана из металлургического кремния.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее