Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.119.107.161
    [SESS_TIME] => 1713571243
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => b44f3cf68a0fc2ee58f54beeb75db4e1
    [UNIQUE_KEY] => fbb6fd7fcc19dd1ded7c6e7b863bc367
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2001 год, номер 1

Высокочувствительные негативные рентгенорезисты

Л. Д. НИКУЛИНА, С. М. ВОЛКОВА, Л. Ф. БАХТУРОВА
Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН, проспект Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
Страницы: 51-55

Аннотация

Синтезированы разнолигандные комплексы редкоземельных и щелочноземельных элементов, перспективные для использования в рентгеновской литографии: Na[Pr(ПТА)4], Na[Nd(ПТА)4], Na[Tb(ПТА)4], Na[Pb(ПТА)3], Pr(ПТА)3 · 9,10-DФА, Но(ФОД)3 · DБ-18-К-6 и Ba(ГФА)2 · 18-К-6. Рассчитаны массовые коэффициенты ослабления веществ в зависимости от длины волны. Исследована чувствительность комплексов и аддуктов к синхротронному излучению. На основании значений коэффициентов контрастности проведена оценка разрешающей способности исследованных веществ. Предложен сухой негативный рентгенорезист с чувствительностью 1.9 · 10–4 Дж/см2. Обсуждены области возможного применения.