Лазерный спектрофотометр для диагностики следов Н2О в вакуумных камерах генераторов низкотемпературной плазмы
Е.В. СТЕПАНОВ1,2, Н.Н. НИКИФОРЦЕВА1,2, В.В. АНДРЕЕВ2
1Федеральный исследовательский центр Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
eugenestepanov@yandex.ru
2Российский университет дружбы народов им. П. Лумумбы, Москва, Россия
nadya.nikifortseva@yandex.ru
Ключевые слова: спектры поглощения Н2О, анализ следовых концентраций Н2О, генераторы низкотемпературной плазмы, перестраиваемые диодные лазеры
Страницы: 557-567
Аннотация
Высокочувствительный анализ содержания нейтральных газовых компонент, включая пары Н2О, в высоковакуумных электротехнических установках, предназначенных для получения низкотемпературной плазмы, является актуальной аналитической и метрологической задачей. В настоящей статье представлен спектрофотометр на основе перестраиваемых диодных лазеров, предназначенный для анализа следов молекул Н2О в вакуумных камерах генераторов низкотемпературной плазмы, базирующихся на использовании ВЧ- и СВЧ-разрядов. Анализ проводился в спектральном диапазоне 7338-7370 см-1, где расположены колебательно-вращательные линии поглощения Н2О различной симметрии и интенсивности, в частности спиновых изомеров орто- и пара-Н2О. Для высокочувствительного анализа следов Н2О при низких давлениях использовано как детектирование собственно спектров пропускания, так и их производных. Оценена чувствительность к резонансному поглощению и концентрационная чувствительность при детектировании следов Н2О в разреженной газовой среде.
DOI: 10.15372/AOO20260702 |
