СВЕТОСИЛЬНЫЙ ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ F-THETA ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ РАБОЧЕЙ СТАНЦИИ
С.Г. Баев1, Т.Н. Хацевич2, Е.В. Дружкин3 1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия baev@iae.nsk.su 2Сибирский государственный университет геосистем и технологий, Новосибирск, Россия khatsevich@rambler.ru 3OOO «ПК Луггар», Новосибирск, Россия druzhkinev@luggar.org
Ключевые слова: объектив F-Theta, телецентрический ход, пятно сканирования, ширина штрихов на оптических шкалах
Страницы: 100-109
Аннотация
Представлены результаты разработки светосильного телецентрического объектива F-Theta для лазерной рабочей станции, использующей в качестве источника излучения фемтосекундный лазер и предназначенной для изготовления оптических сеток и шкал на элементах изделий оптико-механической промышленности. Рассмотрены особенности юстировки объектива, приведены результаты экспериментальных исследований, подтверждающие возможность записи оптических шкал с минимальной шириной штрихов от 3 (при поле размером 6 × 6 мм) до 2 мкм (при поле размером 3 × 3 мм).
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее