АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ НА ПЛАНАРНЫЙ РОСТ НАНОПРОВОЛОК GaAs НА СТРУКТУРИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК Si-SiOxС ПОМОЩЬЮ МОДЕЛИРОВАНИЯ МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО
С.В. Манцурова1,2, Н.Л. Шварц1,2 1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия snezhana@isp.nsc.ru 2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия nshwartz@isp.nsc.ru
Ключевые слова: планарные нанопроволоки, GaAs, кремний, моделирование, Монте-Карло
Страницы: 62-71
Аннотация
Данная работа посвящена поиску условий устойчивого однонаправленного роста планарных нанопроволок GaAs на подложках Si(111) с помощью моделирования методом Монте-Карло. Исследовалось влияние температуры на устойчивость роста планарных нанопроволок GaAs на структурированной поверхности в виде траншей. Продемонстрировано влияние геометрии фронта роста планарных нанопроволок на вероятность устойчивого роста и перехода от планарного роста к наклонному в траншеях, ориентированных вдоль направлений [211 ] и [011 ]. Проанализирована кинетика роста планарных и непланарных нанопроволок GaAs в зависимости от температуры. Выявлено повышение вероятности стабильного роста планарных нанопроволок с увеличением температуры. Моделирование показало, что причиной срыва с планарного роста на непланарный для любой ориентации траншей является смачивание верхней части планарной нанопроволоки, параллельной поверхности подложки, каплей галлия.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее