Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2026 год, номер 3

АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ НА ПЛАНАРНЫЙ РОСТ НАНОПРОВОЛОК GaAs НА СТРУКТУРИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК Si-SiOxС ПОМОЩЬЮ МОДЕЛИРОВАНИЯ МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО

С.В. Манцурова1,2, Н.Л. Шварц1,2
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
snezhana@isp.nsc.ru
2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
nshwartz@isp.nsc.ru
Ключевые слова: планарные нанопроволоки, GaAs, кремний, моделирование, Монте-Карло
Страницы: 62-71

Аннотация

Данная работа посвящена поиску условий устойчивого однонаправленного роста планарных нанопроволок GaAs на подложках Si(111) с помощью моделирования методом Монте-Карло. Исследовалось влияние температуры на устойчивость роста планарных нанопроволок GaAs на структурированной поверхности в виде траншей. Продемонстрировано влияние геометрии фронта роста планарных нанопроволок на вероятность устойчивого роста и перехода от планарного роста к наклонному в траншеях, ориентированных вдоль направлений [211 ] и [011 ]. Проанализирована кинетика роста планарных и непланарных нанопроволок GaAs в зависимости от температуры. Выявлено повышение вероятности стабильного роста планарных нанопроволок с увеличением температуры. Моделирование показало, что причиной срыва с планарного роста на непланарный для любой ориентации траншей является смачивание верхней части планарной нанопроволоки, параллельной поверхности подложки, каплей галлия.

DOI: 10.15372/AUT20260306
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину