Диэлектрическое зеркало с высоким коэффициентом отражения на длине волны 266 нм для озонового лидара
В.С. КУЗНЕЦОВ1, М.М. ЗИНОВЬЕВ1,2, Н.Н. ЮДИН1,2, О.А. РОМАНОВСКИЙ2, А.А. НЕВЗОРОВ2, С.В. ЯКОВЛЕВ2, С.А. САДОВНИКОВ2, А.Л. ХУДОЛЕЙ3, Д.В. ВЛАСОВ1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия robert_smith_93@mail.ru 2Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева СО РАН, Томск, Россия muxa9229@gmail.com 3Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси, Минск, Беларусь khudoley@hmti.ac.by
Ключевые слова: диэлектрическое зеркало, ионно-лучевое распыление, УФ-покрытие, озоновый лидар, интерференционное покрытие
Страницы: 957-962
Аннотация
Для эффективного мониторинга озона в тропосфере требуются лидарные системы, работа которых зависит от качества используемых диэлектрических зеркал в ультрафиолетовом диапазоне, в котором традиционные покрытия подвержены ускоренной деградации. Для таких систем разработана конструкция диэлектрического зеркала с высоким коэффициентом отражения на длине волны 266 нм; изготовлено многослойное интерференционное покрытие на основе HfO2 и SiO2, оптимизированное с помощью экспериментально полученных дисперсионных данных. Исследовано влияние термического отжига на оптические характеристики покрытия, выявлен температурный предел, превышение которого приводит к деградации структуры. Полученные результаты могут использоваться при создании высокоэффективных оптических элементов для ультрафиолетовых лидаров дифференциального поглощения, а также при разработке других лазерных систем, для которых необходимы диэлектрические зеркала в ультрафиолетовом диапазоне.
DOI: 10.15372/AOO20251111 |