Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе
О.В. Зайцев1,2, Т.И. Гареев1,2, О.А. Нерушев1, Д.В. Сорокин1,2, И.В. Корольков3, В.С. Суляева3
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
o.zaitsev@g.nsu.ru
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
t.gareev@g.nsu.ru
3Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
korolkov@niic.nsc.ru
Ключевые слова: магнетрон, тонкие пленки, нитрид титана, оксид титана. внешний анод, отжиг
Страницы: 755-761
Аннотация
В работе описывается метод получения пленок нитрида титана методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом, в результате использования которого синтезированные пленки имеют меньшую плотность, чем пленки, синтезированные с помощью стандартного метода магнетронного распыления. Образованные покрытия также подвергались отжигу в кислородсодержащей и азотной атмосфере. Для пленок изучены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда и малого анода, проведены сканирующая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, резистометрия и спектральные измерения оптического пропускания. Исследования показали, что образцы, синтезированные с анодом, по сравнению с образцами, синтезированными без анода, имеют большую толщину, меньший размер кристаллитов, меньшую прозрачность и запрещенную зону, а также большее сопротивление, что с учетом незначительного изменения режима работы магнетрона свидетельствует об уменьшении плотности пленок.
DOI: 10.63430/TIA202504011 |
